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キャビティリングダウン（Cavity Ring-Down）分光法による、環境分析器、及び半導体等プロセスガス分析器 |
キャビティリングダウン（Cavity Ring-Down）分光法
1mくらい離して設置した反射率の高い（たとえば反射率99.9%）二枚のミラーの間に吸収スペクトルを測定する物質をおき、ひとつのミラーの後ろからレーザー光を導入する。ごく一部キャビティー内に入ったレーザー光は何回もミラーの間を往復する。レーザーを入れたミラーとは反対側のミラーからもれ出てくる光を観測する。その光の減衰の様子で計りたい物質の吸収スペクトルが観測できる。レーザーミラーの間を何回も往復するので、実効的に数kmの距離の吸収を測定できるので、非常に感度よく測定できる。レーザー光の強度のふらつきにも影響されない。
1998年米国 Anthony O'Keefeが発明した方法。 現在、それを事業化した、Los Gatos
Research社社長 当社と技術提携、事業提携契約を結ぶ予定。 |
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当社では、国内で唯一、CRD分光法の環境計測への応用研究の結果を発表している京都大学の川崎昌博研究室と共同研究を行っている。 川崎研究室では、二酸化炭素の安定同位体分析にCRD分光法による測定に成功し、気体分析に有効であることを示した。 これは、環境分析器として、販売していく。
また、この気体分析技術は、半導体や次世代ディスプレーデバイス開発に必要なプロセスガスのうち、反応性の高いガス（HCｌやNH3等）内の水分測定に有効である。 さらに、プロセス装置内のガス分析装置としても有効である。
さらに、医学応用として呼気分析による、肺がんやピロリ菌の検査装置としての可能性もある。
さらに、京都府中小企業センター等との共同研究により、ファイバー結合器を使用したリング型キャビティーでCRD波形が得られることを示した（特許出願中） これは、CRDの問題であったアライメントの問題を排除するもので画期的である。
この方法は、特にCRD法を液体や固体薄膜試料へ応用させるに有効である。 注目を浴びている化学チップやラボオンチップ内の試料は微量であり、この試料の直接分析装置は今後重要となる。 また、液体クロマトグラフィーの高感度吸光検出部として需要は高いと思われる。 さらに、モバイルレベルのサイズになれば、各自治体での水質検査等の応用が考えられる。
・ ＣＯ２ 同位体測定装置
・ 半導体プロセスガス分析装置
・ 公設プール塩素モニタリング装置
・ 呼気検査装置
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