|
|
| ３. |
波長可変真空紫外レーザーによる原子・ラジカルの高感度検出装置 |
波長可変真空紫外レーザーシステムおよびそれを用いた高感度な原子・ラジカルの検出システムに関する装置を提供します。
-
波長領域が110nmから190nmの範囲の波長領域の光を真空紫外光と呼びます。この領域の波長の波長可変レーザー光は、
通常の市販の色素レーザーやOPOレーザーと非線形結晶の組み合わせでは得ることが出来ません。
希ガスなどを媒体とした4光波混合（2ω1-ω2),（2ω1+ω2)などの特殊な技術が必要です。
名古屋大学太陽地球環境研究所の松見教授のグループでは、この真空紫外レーザー発生技術に関して多くの実用的な技術を蓄積しています。
LASERエコバイオでは、そのノウハウをもとに、波長可変真空紫外レーザーシステムを提供いたします。
-
酸素原子O(3P),O(1D)、水素原子、窒素原子、塩素原子などの
高感度な検出には、波長可変真空紫外レーザーを用いた分光技術が必要です。
名古屋大学太陽地球環境研究所の松見教授のグループでは、これらの原子の高感度検出の技術に関する技術を
開発して化学反応解析に応用し、数多くの研究成果を発表しております。
その確固とした技術をもとに、LASERエコバイオでは原子・ラジカル計測システムを提供いたします。
真空紫外レーザー誘起蛍光法や吸収測定法など各種の分光計測に対応できます。
燃焼化学反応解析や半導体プロセス解析においては、酸素原子O(3P), O(1D)、
水素原子、窒素原子、塩素原子、シリコン原子などの活性種を計測は今後非常に重要となると予想されます。
真空紫外レーザーを用いた方法は、システムを乱さずに高感度でこれらの活性種を計測することが出来ます。
真空紫外光はその名のとおり、大気中を光を通すことが出来ません。
この光の発生やハンドリングには特殊な技術が必要ですが、そのノウハウを備えて実用的な計測を行っている
研究グループは日本にはほとんどなく、名古屋大の松見教授のグループは世界的にも有数の実績があります。
波長可変真空紫外レーザーによる高感度ラジカル検出の装置の一例 |
|
